七星华创流量计
表1. D07-7B 型MFC性能指标
编号 项     目 D07-7B  型
1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10)                    SLM
2 准确度 ±1.5  % F.S
3 线性     ±1  % F.S
4 重复精度  ±0.2  %F.S
5 响应时间 电特性:      10   sec
  气特性:  ≤ 4  sec
6 工作压差范围 (0.1  ~ 0.5)  MPa
7 耐压 3  MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号 0  V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10 电源 +15  V   50 mA
-15V   200 mA
11 外形尺寸 见图4
12 重量 1.1  kg
 
注意:                                                                       
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定 |
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